凯发k8国际(中国)官方网站对话东|金博网|方晶源：打造中国芯片制造的Golde

2024-07-09 02:54:44

　　然而ღ★，在这个过程中ღ★，随着集成电路制程节点的不断演进ღ★，工艺复杂程度不断增加ღ★，良率变得极具挑战ღ★，成为阻碍行业发展的一大难点和技术瓶颈ღ★。

　　有数据统计ღ★，对于尖端的逻辑晶圆厂而言ღ★，1%的良率就意味1.5亿美元的净利润ღ★。通常晶圆厂良率要达到85%以上才能顺利量产ღ★，否则良率过低不仅意味着亏损ღ★，也代表其工艺劣质低效ღ★，进而会给终端产品和使用者带来不好的体验ღ★。比如ღ★，业内某大厂制程出现良率问题ღ★，遭到大客户退货ღ★，损失惨重ღ★。

　　因此ღ★，提升良率ღ★，作为芯片量产的必经之路以及贯穿芯片整个生命周期的话题ღ★，是芯片厂商自始至终都需要面临的终极挑战ღ★。

　　围绕良率提升ღ★，业界进行了诸多探索ღ★，其中DTCO——设计与制造工艺的协同优化ღ★，成为业内主流的解决路径之一ღ★。尤其是随着大算力ღ★、大数据ღ★、大模型的兴起和运用ღ★，使芯片设计到制造的全局优化成为可能ღ★。

　　从行业现状来看ღ★，台积电是数据良率管理的先行者和标杆ღ★。据了解ღ★，台积电自2012年开始持续打造大数据平台ღ★，为每一个工厂都配套一座数据中心ღ★，以便让数据产生更大的价值ღ★。为了提升生产效率ღ★，台积电利用先进机台控制ღ★、即时缺陷侦测ღ★、工程资料探勘金博网ღ★、中央管理制造平台等系统ღ★，实现了机台ღ★、制程和良率的优化ღ★。

　　经过多年沉淀ღ★，台积电已经有上千位IT人才和数百位机器学习专家ღ★，在排程派工ღ★、人员生产力ღ★、机台生产力金博网ღ★、制程与机台控制ღ★、品质控制以及机器人控制等方面都已实现了智能化应用ღ★。

　　相比之下ღ★，当前中国大陆晶圆厂在传统良率工程师ღ★、新兴机器学习专家以及IT人才方面均面临较大缺口ღ★。

　　尤其是过去几年ღ★，在不稳定的国际贸易关系ღ★、政策引导凯发k8国际(中国)官方网站ღ★、终端需求波动的大背景下ღ★，中国半导体产业迎来了前所未有的高速发展期ღ★，人才和技术缺口被无限放大ღ★，提高良品率和芯片性能成为中国半导体产业发展的当务之急ღ★。

　　其中ღ★，东方晶源作为该领域的佼佼者ღ★，自成立以来一直致力于解决集成电路制造良率管理问题ღ★，提出了独树一帜的DTCO解决方案——HPOTM（Holistic Process Optimization）良率最大化技术路线和产品设计理念ღ★，在计算光刻软件及电子束量测检测领域成绩斐然ღ★。

　　在近日召开的2024年SEMICON China展会的现场ღ★，半导体行业观察有幸邀请到了东方晶源董事长俞宗强博士ღ★，结合东方晶源十年来的“芯”路历程ღ★，围绕芯片良率提升的挑战ღ★、突破ღ★、趋势ღ★，以及国产生态等话题进行了交流分享ღ★，聆听俞博对行业的真知灼见ღ★。

　　俞宗强ღ★：东方晶源主要聚焦于集成电路制造良率管理和良率提升ღ★，核心产品包括基于电子束的纳米级检测量测设备以及芯片制造相关EDA工具ღ★。最终目的是最大化地发挥光刻机等芯片制造设备的潜能ღ★，以达到使用同样的设备制造出比传统工艺流程更先进的芯片ღ★。这在后摩尔时代ღ★，特别是在中国没有高端光刻机等设备的限制下ღ★，能够制造出高端芯片ღ★，至关重要ღ★。

　　我们的目标就是建立适合中国需求的良率最大化流程ღ★，实现中国特色的GoldenFlowღ★。为此ღ★，东方晶源早在10年前就基于HPOTM进行了产品布局ღ★，历时10年的攻关实现了点工具的客户验证ღ★，并启动系统解决方案的推广ღ★。

　　俞宗强ღ★：东方晶源计算光刻产品PanGen是连接芯片设计和制造的桥梁ღ★，采用基于ILT(反向光刻技术)金博网ღ★，和CPU+GPU混合并行超算加速技术ღ★，技术路线上具有显著优势ღ★。目前PanGen平台已经具备完整的功能链条ღ★，主要功能包括精确的光刻仿真ღ★、DRCღ★、SBAR凯发k8国际(中国)官方网站ღ★、OPCღ★、LRCღ★、DPT及SMO等ღ★，产品得到国内头部用户的采用ღ★，在某些方面处于国际领先水平ღ★，比如全芯片的工程化ILT技术等ღ★。

　　东方晶源是国内布局电子束量测和检测领域最早的企业之一ღ★，成功推出的EBIღ★、CD-SEM均为国内首台凯发k8国际(中国)官方网站ღ★，填补国内相关领域空白ღ★。去年公司又推出DR-SEMღ★，无论是产品种类ღ★，出机数量以及产品先进性ღ★，都处于国内领先地位ღ★。结合PanGen计算光刻系统ღ★，在电子束图像深度解析方面具有国际领先性ღ★。

　　半导体行业观察ღ★：东方晶源能率先实现市场突破ღ★、产品能够快速落地的关键是什么？相较于行业友商ღ★，东方晶源的优势和竞争力是如何体现的？

　　俞宗强ღ★：东方晶源是国内最早布局上述领域的企业ღ★，得益于公司创立之初对行业充分的调研ღ★，以及创始团队对行业发展前瞻性的洞察和判断ღ★。公司发展过程中得到02专项等国家重点攻关工程的支持ღ★，此外对人才的吸引ღ★、投资人的大力支持都是东方晶源产品能够快速落地的关键ღ★。

　　基于HPOTM的布局ღ★，东方晶源产品不仅仅是点工具的替代而是通过连点成线金博网ღ★，提供系统解决方案ღ★，这一点是大部分竞争对手不具备ღ★。正因为此东方晶源具有巨大可持续发展潜力ღ★。

　　半导体行业观察ღ★：如何看待半导体产业（特别是制造领域）的发展趋势？为此ღ★，如何规划东方晶源的下一代产品/技术创新？

　　俞宗强ღ★：对于国内半导体产业而言ღ★，国产替代只是起点ღ★，真正的竞争对手是长期垄断各个赛道的国外供应商ღ★，因此在突破卡脖子点工具的同时ღ★，必须通过创新实现快速追赶ღ★，最终在细分领域实现超越ღ★，才能真正实现生存和可持续的发展ღ★，从而满足我国在先进芯片制造方面日益增加的需求金博网ღ★。

　　东方晶源始终坚持HPOTM全流程良率最大化解决方案的创业初心ღ★，持续迭代升级已有软硬件产品ღ★，扩大产品线ღ★，同时金博网ღ★，创新地将各个点工具串成线ღ★，为客户提供系统解决方案ღ★。我们的最终目标是ღ★：通过设计制造工艺协同优化ღ★，DTCO甚至STCOღ★，从而提升良率ღ★，降低芯片成本ღ★。真正实现中国的芯片制造GoldenFlow金博网ღ★。

　　半导体行业观察ღ★：从行业现状来看金博网ღ★，无论是半导体装备ღ★、还是EDA软件等ღ★，都是卡脖子比较严重的领域ღ★，东方晶源身处其中ღ★，如何看待该领域的发展现状和走势？对于要摆脱被卡脖子的困境ღ★，有哪些观点和建议？国内厂商该如何追赶？

　　俞宗强ღ★：近年来在举全国之力大力发展半导体的时代背景下ღ★，我国半导体产业发展迅猛ღ★，但需充分认识到我们的差距ღ★，特别在先进制程方面的差距ღ★，未来还有很长的路要走ღ★。

　　1）认识到差距ღ★，避免同质竞争ღ★，抱团取暖ღ★，通过不同形式的合作ღ★，联合攻关ღ★，为客户提供成套解决方案ღ★；

　　2）拥有探索和创新精神ღ★，国外企业通过半个世纪的积累才实现今天在各个赛道的垄断ღ★，我们在短时间内很难追赶ღ★，只有走一条不同的路才有机会做到有竞争力ღ★；

　　3）政府以及资本市场对于创新企业的包容和更大力度的支持ღ★，目前的状况不是天下太平ღ★，而是到了更具挑战性攻坚克难的关键时刻ღ★，千万不能松懈下来ღ★。

　　半导体行业观察ღ★：从2014年创立至今ღ★，东方晶源走过了十年发展历程ღ★，站在新的发展时间节点如何展望下一个十年？

　　俞宗强ღ★：10年攻关造就了东方晶源的特色和竞争力ღ★，也为未来10年的发展奠定了坚实的基础ღ★。未来我们将保持东方晶源勇于创新的传统ღ★，紧紧抓住后摩尔时代的机遇ღ★，围绕着良率的提升和制造成本的降低提供更多工具和解决方案ღ★，把东方晶源做大做强ღ★，在支持高端芯片国产化的同时ღ★，走出国门ღ★，为产业的发展作出我们的贡献ღ★，实现成为集成电路领域良率管理领导者的愿景ღ★。

　　当前时代ღ★，提高芯片的良率变得越来越困难ღ★，很多新建的晶圆厂通线数年仍难以量产ღ★，有的虽勉强量产ღ★，但是良率始终无法爬坡式的提升ღ★。

　　通过俞宗强博士的介绍可以看到ღ★，经过十年的不断攻关ღ★，东方晶源已经初步实现了高精度检测/量测装备与EDA软件工具的联动ღ★，打通芯片设计与制造过程中的信息差...使芯片制造过程从艺术到科学再到智能ღ★，在降低芯片制造门槛ღ★、实现芯片制造自主可控方面探索出一条全新的生态技术路径ღ★。

　　未来ღ★，东方晶源将继续围绕HPOTM解决方案进行更多深化和探索ღ★，打造更多点工具凯发k8国际(中国)官方网站ღ★，走出一条自主可控的创“芯”之路ღ★，与产业链上下游合作伙伴携手凯发k8国际(中国)官方网站ღ★，助力加速集成电路国产良率管理行业发展ღ★，突破关键技术节点ღ★，建立适合中国集成电路产业的全新生态ღ★。凯发国际ღ★。天生赢家一触即发ღ★！半导体ღ★。晶片智造ღ★，k8·凯发(中国)天生赢家·一触即发ღ★！凯发天生赢家一触即发官网